C18200 背板
供应商:西安斯瑞先进铜合金科技有限公司[查看公司详情]
所在地:陕西西安市雁塔区纬一路60号
价格:面议
经营模式:
联系人:王群
产品简介
C18200背板,主要用于靶材背板。
在半导体工业中,靶材组件是由符合溅射性能的靶材和与所述靶材结合、具有强度的背板构成。背板可以在所述靶材组件装配溅射基台中起到支撑作用,并具有传导热量的功效。
现有工艺中,所述靶材组件的工作环境比较恶劣,例如,在溅射工艺中,靶材组件工作温度较高,例如300°C500°C ;另外,靶材组件的一侧充以冷却水强冷,而另一侧则处于10-9 的高真空环境下,由此,在靶材组件的上下两侧形成有巨大的压力差;再者,靶材组件处在高压电场、磁场中,受到各种粒子的轰击。在如此恶劣的环境下,如果靶材组件中靶材与背板之间的结合强度较差,将导致靶材在受热条件下变形、开裂、并与结合的背板相脱落,使得溅射无法达到溅射均勻的效果,同时还可能会对溅射基台造成损伤。